四探針測(cè)試儀為解決四探針法測(cè)試超低阻材料方阻及電阻率，可以測(cè)試到1uΩ方阻值，采用高精度AD芯片控制，恒流輸出，結(jié)構(gòu)合理、質(zhì)量輕便，運(yùn)輸安全、使用方便；適用于生產(chǎn)企業(yè)、高等院校、科研部門，是檢驗(yàn)和分析導(dǎo)體材料和半導(dǎo)體材料質(zhì)量的一種重要的工具。
本儀器配置各類測(cè)量裝置可以測(cè)試不同材料。液晶顯示，無需人工計(jì)算，并帶有溫度補(bǔ)償功能，電阻率單位自動(dòng)選擇，儀器自動(dòng)測(cè)量并根據(jù)測(cè)試結(jié)果自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程，無需人工多次和重復(fù)設(shè)置。選配：配備軟件可以由電腦操控，并保存和打印數(shù)據(jù)，自動(dòng)生成報(bào)表；
四探針測(cè)試儀是運(yùn)用直線或方形四探針雙位測(cè)量。
該儀器設(shè)計(jì)符合單晶硅物理測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)。利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，自動(dòng)消除樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，它與單電測(cè)直線或方形四探針相比，大大提高度，特別是適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。
選購：本機(jī)還可以配合各類環(huán)境溫度試驗(yàn)箱體使用，通過不同的測(cè)量治具滿足不同環(huán)境溫度下測(cè)量方阻和電阻率的需求。
四探針測(cè)試儀參數(shù)資料：
1.方塊電阻范圍：10-6～2×102Ω/□
2.電阻率范圍：10-7～2×103Ω-cm
3.測(cè)試電流范圍：0.1μA ，1μA，10μA，100?A.
4.電流精度：±0.1%讀數(shù)
5.電阻精度：≤0.3%
6.顯示讀數(shù)：液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導(dǎo)率.
7.測(cè)試方式: 雙電測(cè)量
8.工作電源: 輸入: AC 220V±10% ,50Hz 功 耗：<30W
9.整機(jī)不確定性誤差: ≤4%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果）
10.選購功能: 選購1.pc軟件； 2.方形探頭； 3.直線形探頭； 4.測(cè)試平臺(tái)
11.測(cè)試探頭： 探針間距選購：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針
