四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó)A.S.T.M標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的，專(zhuān)用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專(zhuān)用儀器。
儀器由主機(jī)、探針測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等部分組成，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由四探針測(cè)試儀主機(jī)直接顯示，亦可與計(jì)算機(jī)相連接通過(guò)四探針軟件測(cè)試系統(tǒng)控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來(lái)。用戶(hù)可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶(hù)對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。
儀器采用了最新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)、裝配。具有功能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、精度高、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
設(shè)備保養(yǎng)：
經(jīng)常保持設(shè)備和計(jì)算機(jī)的清潔、衛(wèi)生。
預(yù)防高溫、過(guò)濕、灰塵、腐蝕性介質(zhì)、水等浸入機(jī)器或計(jì)算機(jī)內(nèi)部。
定期檢查，保持零件、部件的完整性。
注意事項(xiàng)：
1、儀器操作前請(qǐng)您仔細(xì)閱讀使用說(shuō)明書(shū)，規(guī)范操作
2、輕拿輕放，避免儀器震動(dòng)，水平放置，垂直測(cè)量
3、儀器不使用時(shí)請(qǐng)切斷電源，連接線無(wú)需經(jīng)常拔下，避免灰塵進(jìn)入航空插引起短接等現(xiàn)象
4、探針筆測(cè)試結(jié)束，套好護(hù)套，避免人為斷針
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
